電子面板、半導(dǎo)體行業(yè)氣態(tài)污染物AMC解決方案

發(fā)布日期：2021-07-23 14:54:23

信息摘要：

對(duì)于半導(dǎo)體制造行業(yè)，在制造過程中，高端電氣部件非常容易受到污染。即使是非常少的污染也會(huì)導(dǎo)致在接觸周邊空氣時(shí)產(chǎn)生腐蝕和氧化。實(shí)際上，計(jì)算機(jī)部件受到的威脅比人類更大，...

隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)的飛速發(fā)展，芯片線寬已經(jīng)進(jìn)入納米級(jí)，相應(yīng)的產(chǎn)品對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的要求越來越高，因此半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)AMC的控制標(biāo)準(zhǔn)也提高了很多。
1、潔凈室新風(fēng)控制：在MAU內(nèi)加裝化學(xué)過濾器，控制室外新風(fēng)中的化學(xué)污染物；
2、潔凈室循環(huán)風(fēng)控制：在FFU上方加裝化學(xué)過濾器，控制整個(gè)潔凈室內(nèi)部的氣態(tài)化學(xué)污染物；
3、潔凈室機(jī)臺(tái)控制：在生產(chǎn)機(jī)臺(tái)上方加裝化學(xué)過濾器，機(jī)臺(tái)內(nèi)部空間超潔凈度的氣態(tài)污染物控制。

編號(hào)	應(yīng)用場(chǎng)地	可選裝置	功能
①	新風(fēng)入口處	側(cè)開式凈化機(jī)組	去除外部環(huán)境進(jìn)入潔凈室的AMC
②	空調(diào)機(jī)組內(nèi)	HJ氣相過濾器	去除外部環(huán)境和回風(fēng)進(jìn)入潔凈室的AMC
③	FFU處	HJ氣相過濾器	去除送風(fēng)過程進(jìn)入潔凈室的AMC
④	潔凈室內(nèi)	內(nèi)循環(huán)凈化裝置	去除潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的AMC
⑤	回風(fēng)段	HJ氣相過濾器/側(cè)開式凈化機(jī)組	去除潔凈室回風(fēng)段含有的AMC