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電子面板、半導(dǎo)體行業(yè)氣態(tài)污染物AMC解決方案- 行業(yè)應(yīng)用-華凈科技

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電子面板、半導(dǎo)體行業(yè)氣態(tài)污染物AMC解決方案

發(fā)布日期:2021-07-23 14:54:23
信息摘要:
對(duì)于半導(dǎo)體制造行業(yè),在制造過程中,高端電氣部件非常容易受到污染。即使是非常少的污染也會(huì)導(dǎo)致在接觸周邊空氣時(shí)產(chǎn)生腐蝕和氧化。實(shí)際上,計(jì)算機(jī)部件受到的威脅比人類更大,...
隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)的飛速發(fā)展,芯片線寬已經(jīng)進(jìn)入納米級(jí),相應(yīng)的產(chǎn)品對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的要求越來越高,因此半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)AMC的控制標(biāo)準(zhǔn)也提高了很多。
1、潔凈室新風(fēng)控制:在MAU內(nèi)加裝化學(xué)過濾器,控制室外新風(fēng)中的化學(xué)污染物;
2、潔凈室循環(huán)風(fēng)控制:在FFU上方加裝化學(xué)過濾器,控制整個(gè)潔凈室內(nèi)部的氣態(tài)化學(xué)污染物;
3、潔凈室機(jī)臺(tái)控制:在生產(chǎn)機(jī)臺(tái)上方加裝化學(xué)過濾器,機(jī)臺(tái)內(nèi)部空間超潔凈度的氣態(tài)污染物控制。
電子面板、半導(dǎo)體行業(yè)氣態(tài)污染物AMC解決方案
電子面板、半導(dǎo)體行業(yè)氣態(tài)污染物AMC解決方案

編號(hào)

應(yīng)用場(chǎng)地

可選裝置

功能

新風(fēng)入口處

側(cè)開式凈化機(jī)組

去除外部環(huán)境進(jìn)入潔凈室的AMC

空調(diào)機(jī)組內(nèi)

HJ氣相過濾器

去除外部環(huán)境和回風(fēng)進(jìn)入潔凈室的AMC

FFU處

HJ氣相過濾器

去除送風(fēng)過程進(jìn)入潔凈室的AMC

潔凈室內(nèi)

內(nèi)循環(huán)凈化裝置

去除潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的AMC

回風(fēng)段

HJ氣相過濾器/側(cè)開式凈化機(jī)組

去除潔凈室回風(fēng)段含有的AMC

 
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