隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)的飛速發(fā)展,芯片線寬已經(jīng)進(jìn)入納米級,相應(yīng)的產(chǎn)品對半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的要求越來越高,因此半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)AMC的控制標(biāo)準(zhǔn)也提高了很多。1、潔凈室新風(fēng)控制:在MAU內(nèi)加裝化學(xué)過濾器,控制室外新風(fēng)中的化學(xué)污染物;2、潔凈室循環(huán)風(fēng)控制:在FFU上方加裝化學(xué)過濾器,控制整個潔凈室內(nèi)部的氣態(tài)化學(xué)
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